圧縮空気冷却装置・ナノサーモ・ACU

ACUシリーズ

安定した温度の圧縮空気が必要なら、 圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」。 エアースライドやナノレベルの加工エアーなどにも!

用途 :

●安定した温度の圧縮空気をお探しの方。
●精密加工機、精密測定機に。
●半導体・FPD製造装置などに。

ポイント :

●制御精度±0.01℃、温度制御範囲15.00~40.00℃、処理空気量 30~2100L/min。
●コンパクト設計で省スペースを実現。

メーカー名 :
オリオン機械㈱
仕様書PDF :
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圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」のポイント

高精度と省エネを実現する圧縮空気温度調節機です。

ペルチェ温調方式で高精度、そして省エネを実現するナノサーモ(圧縮空気温度調節機)。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、格段の装置性能が得られます。

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」の用途例

ナノサーモ用途例 ■精密加工機
■精密計測機
■半導体・FPD製造装置
■分析機器
■精密塗装機
■局所空間の精密温調
■加工物・計測物の温調
■精密加工機のエアーベアリング
■三次元測定機のエアースライド

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」の主な特徴

■エアー温度を±0.01℃に制御

■温度制御範囲 15.00~40.00℃

■処理空気量 30~2100 L/min

■ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MDは除湿・ろ過機能付で圧力調整も可能

■コンパクト設計で省スペースを実現

圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」のポイント

お任せ下さい オリオンのライン型温度検査装置は業界トップシェア。このナノサーモ・ACUは、安定した温度の圧縮空気を提供します。エアー温度制御は、±0.01℃制御です。また、エアードライヤーが付いているので(ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MD)、除湿して安定した温度のエアーを提供できます。
少しでも興味を持たれた方は、デモ機でお試しください。ご購入後のアフターサービスに関しても、当社を窓口として、修理を依頼して頂ければ大丈夫です。
もちろん、ご相談だけでも大丈夫ですよ。

■圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ACU」仕様(使用範囲)■

項目
【型式】ACU100-MD
【型式】ACU300-MD
【型式】ACU600-MD
【型式】ACU1000B
【型式】ACU2000B
適用流体
圧縮空気
使用範囲
使用圧力範囲(ゲージ圧):MPa
0.2〜0.85
0.2〜0.83
出口圧力調整範囲(ゲージ圧):MPa
0.05〜0.83
入口空気温度:℃
5〜40
15〜35
15〜35
出口温度設定範囲 :℃
16〜30
15〜35
15〜40
出口空気流量:L/min
30〜130
50〜390 ※2
130〜600 ※2
130〜1000 ※2
330〜2100 ※2
周囲温度:℃
18〜25
入口空気水蒸気含有量:℃
飽和以下
圧力下10℃以下
基本性能
出口空気露点(大気圧下):℃
-17℃以下 ※3
出口空気ろ過度:μm/%
0.01/99
出口空気温度制御制度※1:℃
設定値+-0.01
【条件】出口設定温度:℃
23
【条件】入口空気温度:℃
5〜40
15〜28
【条件】入口空気圧力(ゲージ圧):MPa
0.7
【条件】入口空気流量:L/min
125
375
750
1000
2100
【条件】出口空気流量:L/min
100
300
600
1000
2100
【条件】パージ空気流量:L/min
25
75
150
0
0
【条件】周囲温度:℃
25
電気特性
電源:V(Hz)
単相100+-10% (50/60)
単相200+-10% (50/60)
最大運転電流:A
4
5
電源容量:kVA
0.4
0.5
1
遮断容器量:A
10
温度制御方式
ペルチェ式電流制御(PID制御)
放熱方式
空冷式
除湿方式
中空糸膜式
出入口配管接続口径
Rc1/4
Rc3/8
Rc1/2
Rc3/4
外装
塗装色:N5.5/N8.0
機器細目
エアーフィルタ・ミクロミストフィルタ・膜式ドライヤー・レギュレータ・フロースイッチ内蔵
フロースイッチ内蔵
出入口配管接続口径
28
36
38
35
45
外形寸法(高さ×奥行×幅):mm
490×500×240
510×550×320
530×600×320

※1 出入口空気流量、入口空気温度、周囲音が安定状態で、急激な変動がない場合。(入口空気温度勾配:1℃/10min以内)
※2 入口空気圧力が0.25MPa以下の時、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。ACU300-MD:270L/min、ACU600-MD:520L/min、ACU1000B:870L/min

※3 入口空気温度が28℃時。※空気流量は、圧縮機の吸入状態(大気圧、20℃、65%)に換算した値です。

※ACU1000B/2000B:圧縮空気の除湿機能は内蔵しておりませんので、供給される圧縮空気は、必ずエアードライヤーを通過した圧縮空気を供給してください。

■基本性能など、詳しい仕様書はこちらをクリック!

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