濡れ性改善・表面改質に172nm短波長・簡易照射器ミニエキシマ

Min-Excimer

用途 :
●卓上でエキシマ光の実験が可能です
●簡易かつ柔軟な実験を卓上で行ないたい、大学や企業、研究機関の方に
ポイント :
●N2(窒素)を使用しないシンプル構造になり、コンパクト化(A5サイズ)に成功!
●これによりコスト面もダウン(定価25万円)。手軽に導入できるようになり、実験機会が増やせます
●エキシマ光・照射サイズは「80mm×50mm」と名刺サイズ程度。
●弊社にてデモ機あり。貸出可能です!
メーカー名 :
ウシオ電機株式会社

エキシマ光実験について

エキシマ光は、フラットパネルディスプレイの光洗浄やプラスチックの表面改質など、さまざまな製造プロセスで用いられています。

また、照射器内部を高純度99.99%N2(窒素)で満たす必要があるため、構造上、卓上レベルでの簡易かつ柔軟な実験を行なうことができませんでした。

しかし、このミニエキシマ光簡易照射器なら、窒素N2ユーティリティを必要とせず、しかも卓上でエキシマ光の実験が行えます!

これにより、スペース面、コスト面などで導入が困難だった大学や企業の研究開発期間でも手軽に導入でき、実験機会が増やせるため、各種産業・業界でのエキシマ光のアプリケーション開発など、応用展開が可能です。

価格も定価25万円(税抜)、そして弊社ではデモ機貸出可能です。

ミニエキシマ・アプリケーション

光化学反応・主用途

機能 使用例 業界
親水化 濡れ性改善など 液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
洗浄 ドライ洗浄による有機物分解など 液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
密着性向上 濡れ性改善による密着性向上など 半導体、封止、実装
改質 濡れ性改善、メッキ前処理など 液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
分解 メタン分解/NOx分解など 環境
酸化 ドライ酸化膜の生成など 半導体
成膜 酸化膜の生成 半導体、電池
架橋・重合・光配合 Low-kキュアなど 半導体
VUV乾燥 脱水素 / 精密乾燥など フィルム
帯電除去 静電気除去 フィルム、実装
蛍光 蛍光体色度検査など PDP

光化学反応・その他用途

機能 使用例 業界
励起 ガスの励起など 研究・分析
生成 活性酸素・オゾンの生成 研究・分析
光CVD CVDガス励起など PV

ミニエキシマの特徴・メリット

■コストダウン→シンプルな構造により低価格【定価25万円(税抜)】を実現

■省スペース→N2(窒素)が不要なため、卓上でエキシマ光の実験が可能。手軽にご使用・持ち運び頂けます。

■簡易性→100Vコンセントですぐに使える。

■エキシマ光・照射サイズは「80mm×50mm」と名刺サイズ程度。

大学の研究・企業の研究開発の方、デモ機貸出しします!

弊社所有のミニエキシマがございます。貸出可能ですので、皆様の研究開発にお役立てていただければと思います。
ただしドラフトチャンバーはお客様にて準備になります。
予めご了承ください。

ミニエキシマの仕様

波長 172nm
照度 10mW/cm2以上
照射エリア 80㎜×50㎜
寸法・本体 W209mm × D148mm × H66mm 3.5kg
寸法・電源 W120mm × D210mm × H95mm 1.5kg
ユーティリティ 電源・AC100~240V±10V、0.15kVA以上、50/60Hz
オゾン排気 オゾン発生量 約15㎎/min 必要排気風量 1~2m3/min

*排気設備のある環境が必要です。
(ドラフトチャンバーはお客様側でご準備願います)

大学や企業の研究開発におすすめです。「濡れ性を良くしたい」「表面改質をしたい」など、「インクや塗料が塗りにくい」、塩ビやガラス、半導体のレジストなど「コーティングを良くして、汚れをつきにくくしたい」「光触媒」など、様々なお悩みに一度試してください。短波長172nm・エキシマ光を利用した研究の用途、材質など様々な用途にお使いください。弊社所有のデモ機貸出も可能です。卓上でエキシマ光の実験が可能ですので、お気軽にお問合せ下さい

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