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エキシマ光照射器塗装・接着設備

簡易照射器ミニエキシマ

エキシマ光実験について

エキシマ光は、フラットパネルディスプレイの光洗浄やプラスチックの表面改質など、さまざまな製造プロセスで用いられています。
また、照射器内部を高純度99.99％Ｎ2（窒素）で満たす必要があるため、構造上、卓上レベルでの簡易かつ柔軟な実験を行なうことができませんでした。
しかし、このミニエキシマ光簡易照射器なら、窒素N2ユーティリティを必要とせず、しかも卓上でエキシマ光の実験が行えます！
これにより、スペース面、コスト面などで導入が困難だった大学や企業の研究開発期間でも手軽に導入でき、実験機会が増やせるため、各種産業・業界でのエキシマ光のアプリケーション開発など、応用展開が可能です。

価格：定価29万円（税抜）
※デモ機の貸出については都度お問合せ下さい。

ミニエキシマ・アプリケーション

光化学反応・主用途

光化学反応	主用途	機能	使用例
		親水化	濡れ性改善など	液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
		洗浄	ドライ洗浄による有機物分解など	液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
		密着性向上	濡れ性改善による密着性向上など	半導体、封止、実装
		改質	濡れ性改善、メッキ前処理など	液晶などFPD全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど
		分解	メタン分解／NOx分解など	環境
		酸化	ドライ酸化膜の生成など	半導体
		成膜	酸化膜の生成	半導体、電池
		架橋･重合･光配向	Low-kキュアなど	半導体
		VUV乾燥	脱水素／精密乾燥など	フィルム
		帯電除去	静電気除去	フィルム、実装
		蛍光	蛍光体色度検査など	PDP
	その他用途	励起	ガスの励起など	研究・分析
		生成	活性酸素・オゾンの生成	研究・分析
		光CVD	CVDガス励起など	PV

ミニエキシマの特徴・メリット

●コストダウン→シンプルな構造により低価格【定価25万円（税抜）】を実現
●省スペース→N2(窒素）が不要なため、卓上でエキシマ光の実験が可能。手軽にご使用・持ち運び頂けます。
●簡易性→100Vコンセントですぐに使える。
●エキシマ光・照射サイズは「80ｍｍ×50ｍｍ」と名刺サイズ程度。

ミニエキシマの仕様

波長	172nm
照度	10mW/cm2以上
照射エリア	80㎜×50㎜
寸法・本体	W209mm　×　D148mm　×　H66mm　3.5kg
寸法・電源	W120mm　×　D210mm　×　H95mm　1.5kg
ユーティリティ	電源・AC100～240V±10Ｖ、0.15kVA以上、50/60Hz オゾン排気　オゾン発生量　約15㎎/min　必要排気風量　1～2㎥/min